要求具有導(dǎo)靜電型的，其表面電阻和系統(tǒng)電阻值低于1.0×106Ω;
要求具有靜電耗散型的，其表面電阻和系統(tǒng)電阻值在1.0×106~1.0×109Ω之間。
系統(tǒng)接地電阻值應(yīng)滿足設(shè)計要求。
